功能介绍    

超精密微振动测试与分析系统是一个测试超精密加工中微震问题对设备的影响。通过分析影响超精密加工机床精度的环境微振动，可以对不同微振动的特点进行讨论，提出解决微振动问题的理论方法和措施。

  主要技术参数  

·6自由度，各个方向统一的控制能力、可设计的刚度

·高分辨率传感器

·简单的运动学和动力学分析

·高导向精度和零反弹

·低电压压电致动器

·带宽：200Hz

·力传感器分辨率：1.5N/mm

·最大载荷：10N/4Nm

·平移分辨率：5nmrms

·旋转分辨率：70nradrms

  应用范围 

用于减震器的性能测量，广泛应用于机械、物理学、材料学等领域。